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微孔陶瓷吸盘
主要应用于柔性显示屏(OLED )的激光切割、点亮测试、激光镭射修复、AOI外观检测及自动搬运翻转等工序;配套的设备主要有激光切割机、AOI检测、镭射修复等设备。
作为一种真空吸附承载平台,具有高平整度、吸附力均匀、可实现稳定局部吸附等特点,特别适用于吸附柔性屏幕(OLED)、尺寸较小的晶圆片等工件的加工和检测制程。
固定尺寸的吸盘,能同时应对不同尺寸料片的吸附;表面电阻106-109(Ω);反光率、孔径以及气孔率可非标定制;最大尺寸可达2000mm*1000mm,平面度≤0.08mm。
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