主要用于硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓、磷化铟、蓝宝石等半导体材料衬底片和外延片的研磨,以及精密陶瓷、光学玻璃、金属材料、硬质合金等各种材料的研磨加工,用于切割、减薄等损伤层的高效去除,实现工件的快速平坦化加工。
可提供水性体系、油性体系和油水两用体系3大类产品,磨料颗粒处于单颗粒分散稳定全悬浮状态,加工效率高,性能均匀稳定,无颗粒沉降团聚引起的划伤;专有的吸热放热原理设计,可有效解决加工过程的热量累积,避免工件变形、几何参数失控等问题发生,实现超精密几何精度加工;针对性匹配乳化自清洗功能,可有效减少研磨残留方便后续清洗管控;所用材料具有无毒无害环境友好特性。