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主要用于硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓、锗、蓝宝石等半导体晶圆以及超薄液晶玻璃的倒边加工。
可提供金属结合剂和树脂结合剂两类金刚石倒边砂轮。通过自创的多体系砂轮配方库,针对半导体晶圆以及超薄液晶玻璃等不同硬脆材料、不同尺寸精度加工有不同的设计方案,可进行精准匹配,能够满足倒边加工的超精密、超高表面质量要求,达到国内领先水平。