主要用于对半导体硅晶圆、化合物半导体晶圆(SiC、GaAs、GaP等)、氧化物半导体晶圆(LiTaO3 等)等半导体晶圆进行高效、精密划切,实现芯片单体化。
刀刃部分采用精密电铸工艺制备而成,刀刃厚度范围:10μm~100μm,微粉粒径范围:1500#~5000#。
拥有6档磨粒集中度等级,适用晶圆种类范围更广;具有出色的通用性,能够适应各种复杂场景的划切需求,包括切割道内含有金属、 Pl/PO等各类工况;在切割水含有CO2的环境中,表现出优秀的耐腐蚀性能;在划切超厚晶圆时(如晶圆级封装芯片),槽型可稳定保持垂直状态。