主要用于大尺寸、高品质单晶/多晶金刚石的生产制造，可适配超硬材料、培育钻石、半导体散热、光学窗口、量子器件、刀具涂层等应用领域。该产品采用全新一代碟形腔设计，可实现低缺陷、高均匀、高纯度金刚石材料生长。
实现了2450MHz和915MHz两大系列全覆盖，系列产品包括DiaCentre-6K-D、DiaCentre-10K-D、DiaCentre-36K-D、DiaCentre-54K-D、DiaCentre-72K-D等。具有成熟、可靠性高、批量致性好、腔体易洁操作、可避免石英刻蚀污染、等离子体覆盖面积大的突出特点。
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