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主要用于金刚石多晶片的无接触、高效率激光研磨减薄,解决传统机械研磨因产品翘曲较大而无法研磨的问题。该设备采用高功率光纤纳秒激光器,加工效率快、热损伤层小,配备自研研磨加工数控系统,可进行多种研磨工艺参数自由配置;分为单工位及多工位机型,可进行单片/多片产品研磨加工,配备高稳定性、高精度、宽扫幅加工平台,最大可加工6英寸多晶片。