近日,“西电杯”第四届全国机械工业产品质量创新大赛决赛暨颁奖仪式在陕西省西安市隆重举行。国机金刚石前沿材料事业部申报的“晶圆检测用碳化硅真空卡盘高平坦度精密加工质量创新项目”荣获大赛金奖。
本次赛事由中国机械工业联合会、中国机械工业集团有限公司和中国机械科学研究总院集团有限公司共同主办,以“质量筑基 品牌强国”为主题,聚焦机械工业全领域质量创新成果挖掘与示范推广,重点围绕产品质量特性创新、质量技术创新和质量管理创新三类成果展开竞赛。

前沿材料事业部申报的“晶圆检测用碳化硅真空卡盘高平坦度精密加工质量创新项目”,面向半导体晶圆检测设备对关键基础零部件的严苛需求,针对碳化硅材料高硬度、高脆性带来的加工难题,通过工艺、质量创新,实现了真空卡盘高平坦度精密加工质量水平的系统提升,为晶圆检测环节的一致性与可靠性提供了坚实保障。
下一步,国机金刚石将以此次获奖为契机,继续深入贯彻落实《质量强国建设纲要》,坚持质量提升与技术创新双轮驱动,持续深耕精密加工领域,以更高品质的产品和服务支撑高端制造升级,为推动机械工业高质量发展、加快建设制造强国贡献金刚石力量。