以创新为引擎，向材料生长的新维度进发；以装备为基石，为功能金刚石产业化赋能。
六十余载深耕超硬材料领域，从高温高压法“压”出金刚石，到化学气相沉积法“长”出金刚石，一代代国机金刚石人不断拓展材料制备的技术边界。本期《硬核产品》，带您认识国机金刚石化学气相沉积关键装备——微波等离子体化学气相沉积设备（MPCVD）。
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说起金刚石的诞生，人们往往想到极端的高温高压。而MPCVD给出了另一种答案——让金刚石像晶体一样，一层一层“长”出来。
MPCVD，即微波等离子体化学气相沉积。在密闭的反应腔体内，微波能量将甲烷与氢气的混合气体激发为等离子体，含碳基团在衬底表面发生反应，碳原子有序排列、逐层沉积，金刚石便在稳定的等离子辉光中悄然生长。那团明亮的等离子球，正是金刚石孕育生长的“沃土”。
“长”出金刚石不难，难的是长出大尺寸、高品质的金刚石。国机金刚石MPCVD采用全新一代碟形腔设计，微波场均匀分布，等离子体覆盖面积大，实现低缺陷、高均匀生长；腔内无电极，可有效避免石英刻蚀污染，守护金刚石的高纯度。凭借低污染、沉积面积大、生长速率高的优势，MPCVD被国际上公认为大尺寸、高品级、功能金刚石产业化制备的最佳方法。
目前，产品已实现2450MHz和915MHz两大系列全覆盖，拥有DiaCentre-6K-D、DiaCentre-10K-D、DiaCentre-36K-D、DiaCentre-54K-D、DiaCentre-72K-D等型号，成熟可靠、批量一致性好，腔体易清洁、操作便捷。从设备全部自研自制，到建成新型高功率MPCVD法大尺寸单晶/多晶金刚石生产线，装备、工艺与产能深度贯通，知识产权自主安全可控。
谁说金刚石只能用来“悦己”？大尺寸、高品质的单晶/多晶金刚石，正在从珠宝柜台走向科技前沿。它既可以是闪耀的培育钻石，也可以是芯片高效散热的“降温神器”、高功率激光的“透视之窗”，它以超硬材料的卓越性能，在量子器件、刀具涂层等广阔领域，解锁着无限可能。
从一台装备，到一种材料，再到一个向高端迈进的战略性新兴产业。国机金刚石将持续深耕化学气相沉积技术，以自主可控的关键装备支撑大尺寸功能金刚石产业化，让更多“长”出来的金刚石走向半导体、光学、量子等前沿舞台，为新材料强国建设注入坚实的“金刚石力量”。
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